扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生

电子、俄歇电子、特征射线和连续谱X射线、背散射电子、适射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射

时,也可产生电子空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以

获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。

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