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扫描电镜技术服务(威斯腾)

扫描电镜主要用二次电子观察形貌,成像原理如图所示。在扫描电镜中,电子枪发射出来的电子束,经三个电磁透镜聚焦后,成直径为几个纳米的电子束。末级透镜上部的扫描线圈能使电子束在试样表面上做光栅状扫描。试样在电子束作用下,激发出各种信号,信号的强度取

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