热场发射扫描电子显微镜

超高分辨率

新研发的super hybrid物镜，能获取0.8nm (15kV)和1.2nm (1kV)的超高分辨率，采用了Gentle Beam的高性能电子光学系统，能够显示试样表面的微细结构，可以在数百伏的低加速电压下观察材料的成分分布。

快速、高精度的分析

利用日本电子专利技术 “光阑角度最佳调节透镜” (Aperture Angle Optimizing Lens)，即使增大电流，也能够保持很小的电子探针直径。使用大束流，在不牺牲元素分析的高精度和高质量同时，保证了分析的高速度。还可以使用EDS、WDS、EBSD等多种分析附件。

高稳定的电子探针能获取最可靠性的数据

使用浸没式热场发射电子枪，能获取长时间稳定的电子探针，无论何时都能实现高性能。多个用户获得的数据或者不同时间获得的数据，都能很容易地进行比较。

不受试样限制

super hybrid物镜采用不漏磁设计，在分析工作距离上没有磁场。对磁性材料能在高倍率下进行观察与分析。对非导电性试样的观察也变得更加便捷。