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MEMS-FTIR产品型号：C13272
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MEMS-FPI光谱传感器具有一个超紧凑法布里波罗干涉仪（FPI）和一个近红外灵敏度InGaAs PIN光电二极管。利用MEMS技术，极大地减小了作为可调谐滤波器的法布里波罗干涉仪的尺寸。
MEMS-FPI光谱传感器可以用于现场光谱分析：气体（环境测量）、食品和饮料、农产品、石油化工产品。
特性：MEMS-FPI可调谐滤波器配有InGaAs PIN光电二极管、光谱响应范围：1550-1850nm、光谱分辨率：20nm FWHM(最大值)、严格密封的TO-5金属壳封装
原理结构： MEMS-FPI光谱传感器包括一个MEMS-FPI可调谐滤波器，一个InGaAs PIN光电二极管以及一个接线板； MEMS-FPI可调谐滤波器是小型法布里波罗干涉仪，其由一个可移动的上反射镜和一个固定的下反射镜组成，两个反射镜之间有空气间隙。上下反射镜作为波 长可调谐平行板：空气间隙的宽度控制腔的谐振频率，并允许特定的波长通过。通过施加电压来控制上反射镜的运动。施加不同的电压使得InGaAs PIN光电二极管探测不同波长的光谱。