微型MEMS光谱仪模块

MEMS近红外微型光谱仪将MEMS技术与傅里叶变换技术相结合，不仅具有传统光谱仪的高光通量、高信噪比、多通道等特点，同时还具有MEMS技术的小体积、易于驱动、量产后成本低等优势，实现了傅里叶光谱仪的微型化、便携化和低成本化。两项技术的结合将大大拓展近红外微型光谱仪的应用场所及应用环境。