YS/T 15-1991
硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法
- 标准号
- YS/T 15-1991
- 发布日期
- 1991年04月26日
- 实施日期
- 1992年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H21
- 发布单位
- CN-YS
- 代替标准
- YS/T 15-2015
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