SJ 1794-1981
半导体器件生产用扩散炉.通用技术条件
General specification for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing
- 标准号
- SJ 1794-1981
- 发布
- 1981年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 1794-1981
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