在50~650℃的温度范围里,测试所制备的传感器件的高温特性,测试结果显示其具有良好的稳定性和线性TCF( ~25 ppm/°C.),证明该器件具有较好的高温传感性能。 研究表明,声表面波高温传感技术可用于极端高温环境下的高灵敏度温度监测和预警。 研究工作得到国家自然科学基金联合重点基金项目等的资助。...
图示为Qorvo低温漂和零温漂体声波滤波器的温漂与同类型薄膜体声波谐振器的体声波技术的比较。尽管低温漂体声波是许多应用的不错选择,但是鉴于其中要求非常严格的发射杂散模板和高频率,需要零温漂体声波提供的改进温度稳定性。 体声波滤波器与传统的声表面波滤波器相比,本身对于温度的变化就不敏感。低温漂和零温漂体声波进一步降低了温度敏感性,该技术在体声波可以处理的频率范围内,特别适合极端应用需求。...
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