JB/T 6922-2004
真空蒸发镀膜设备

Vacuum evaporation coating plant


 

 

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标准号
JB/T 6922-2004
发布日期
2004年10月20日
实施日期
2005年04月01日
废止日期
中国标准分类号
J78
国际标准分类号
23.160
发布单位
行业标准-机械
代替标准
JB/T 6922-2015
被代替标准
JB/T 6922-1993
适用范围
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。 本标准适用于极限压力在5×10^(-4)pa~5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备。

JB/T 6922-2004 中可能用到的仪器设备





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