SJ 3244.1-1989
砷化镓和磷化铟材料霍尔迁移率和载流子浓度的测量方法已作废

Methods of measurement for hall mobility and carrier concentration of Gallium arsenide and Indium phosphide

标准号

SJ 3244.1-1989

发布日期

1989年03月20日

实施日期

1989年03月25日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了砷化镓和磷化铟材料霍尔迁移率和载流子浓度的测量原理，测量步骤，试验结果的讣算，精度。 本标准适用于电阻牢小于10^(4)Ωcm的砷化镓和磷化铟材料(包括半绝缘衬底上生长的砷化镓外延层)霍尔迁移率和载流子浓度的测量。也适用于其它半导体材料的测量。由于霍尔迁移率是由霍尔系数和电阻率汁算出来的，所以本标准又适用于这两个参数的单个测量。

SJ 3244.1-1989 中可能用到的仪器设备