GB/T 38614-2020
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
GBT38614-2020, GB38614-2020
- 标准号
- GB/T 38614-2020
- 别名
- GBT38614-2020, GB38614-2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 38614-2020
- 引用标准
- GB/T 11336 GB/T 38616-2020
- 适用范围
- 本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。 本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。
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