SJ 3248-1989
重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

Methods for measuring carrier concentration of readded Gallium arsenide and Indium phosphide by infra-red reflection

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SJ 3248-1989

标准号
SJ 3248-1989
发布日期
1989年03月20日
实施日期
1989年03月25日
废止日期
无
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理，仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。 本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度，也适用于测量外延层的载流子浓度。

SJ 3248-1989 中可能用到的仪器设备

红外光谱仪 分子荧光光谱/荧光分光光度计 紫外可见分光光度计 X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪） 扫描电镜SEM ICP光谱/MP-AES/ICP-AES 薄层扫描色谱仪TLC X荧光光谱/XRF（波长色散型） 光纤光谱仪 折光仪(折射仪) 近红外光谱仪 X射线衍射仪(XRD) 马弗炉/电阻炉/实验炉 酶标仪


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