SJ 3244.4-1989
砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法.电化学电压电容法

Methods of measurement for profile distribution of carrier concentration of Gallium arsenide and Indium phosphide materials--Electrochemical voltage capacitance method

2010-02

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SJ 3244.4-1989

标准号
SJ 3244.4-1989
发布
1989年
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ 3244.4-1989
 
 
1.1 本标准规定了电化学电压电容法测量的原理、仪器和电解液要求、测量步骤、测量结果的计算。 1.2 本标准适用于载流子浓度10^(14)~10(19)cm^(-3)的n型和P型砷化镓、磷化铟,也适用于铝镓砷和镓铟砷磷材料载流子浓度剖面分布的测量。

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