SJ 3244.4-1989
砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法.电化学电压电容法

Methods of measurement for profile distribution of carrier concentration of Gallium arsenide and Indium phosphide materials--Electrochemical voltage capacitance method


标准号
SJ 3244.4-1989
发布日期
1989-03-20
实施日期
1989-03-25
废止日期
2010-02-25
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-SJ
适用范围
1.1 本标准规定了电化学电压电容法测量的原理、仪器和电解液要求、测量步骤、测量结果的计算。 1.2 本标准适用于载流子浓度10^(14)~10(19)cm^(-3)的n型和P型砷化镓、磷化铟,也适用于铝镓砷和镓铟砷磷材料载流子浓度剖面分布的测量。

SJ 3244.4-1989 中可能用到的仪器设备





Copyright ©2007-2016 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号