SJ/T 10152-1991
集成电路主要工艺设备术语

Terms Relating to Main Equipment for Integrated Circuit Technologies

SJT10152-1991, SJ10152-1991


标准号
SJ/T 10152-1991
别名
SJT10152-1991, SJ10152-1991
发布
1991年
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 10152-1991
 
 
适用范围
本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。 本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。

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