SJ/T 10314-1992
直流四探针电阻率测试仪通用技术条件

Generic specification of resistivity measuring instrument with four-point probe

SJT10314-1992, SJ10314-1992

2010-02

标准号
SJ/T 10314-1992
别名
SJT10314-1992, SJ10314-1992
发布
1992年
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 10314-1992
 
 
适用范围
本标准规定了直流四探针电阻率测试仪的主要技术性能、测试方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等。 本标准适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半导体、金属薄层等的电阻率、薄层电阻和电阻的直流四探针测试仪,其它以四探针法为基础的六探针、交直流四探针电阻率、薄层电阻测试仪可参照使用。 本标准不包括四探针探头标准。

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