D型承载鞍量具.弦高量具 是非强制性国家标准,您可以免费下载前三页
德国联邦物理技术研究院(PTB)开发了一种新的量具来表征光学测量仪器的二维仪器传递函数 (2D-ITF)。这种量具非常灵活且易于使用。此外,它显示出较高的再现性和鲁棒性。光学表面形貌计量工具通常用于精密表面的非接触式和快速测量,例如 X 射线或光刻设备的光学反射镜。然而,使用这类工具通常会引发光学测量中的一个基本问题,“我们得到正确答案了吗?”...
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