SJ 2757-1987
重掺半导体载流子浓度的红外反射测试方法

Method of measurement by infra-red reflection for charge carrier concentraiton of heavily doped semiconductors


SJ 2757-1987


标准号
SJ 2757-1987
发布
1987年
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ 2757-1987
 
 
本标准适用于测量重掺半导体体材料载流子浓度,也适用于测量外延层、埋层和扩散层的载流子浓度。

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