SJ 2757-1987
重掺半导体载流子浓度的红外反射测试方法

Method of measurement by infra-red reflection for charge carrier concentraiton of heavily doped semiconductors

标准号

SJ 2757-1987

发布日期

1987年02月10日

实施日期

1987年07月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31-030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准适用于测量重掺半导体体材料载流子浓度，也适用于测量外延层、埋层和扩散层的载流子浓度。

SJ 2757-1987 中可能用到的仪器设备