SJ 2799-1987
电子级气体中痕量水分子的测定方法.目视露点法

Method for determination of trace water in electronic grade gases--Dew point method

2010-02

标准号
SJ 2799-1987
发布
1987年
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ 2799-1987
 
 
适用范围
本标准适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定,测量范围0∽90℃。

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