SJ/T 11131-1997
蒸发镀膜设备基本参数系列
Basic parameter series of evaporation plating equipment
SJT11131-1997, SJ11131-1997
- 标准号
- SJ/T 11131-1997
- 别名
- SJT11131-1997, SJ11131-1997
- 发布
- 1997年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11131-1997
- 被代替标准
- SJ 1098-1977 SJ 1099-1977
- 适用范围
- 本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。