GB/T 42271-2022
半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement

GBT42271-2022, GB42271-2022


标准号
GB/T 42271-2022
别名
GBT42271-2022, GB42271-2022
发布
2022年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 42271-2022
 
 
引用标准
GB/T 14264 GB/T 30656
适用范围
本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。 本文件适用于测量电阻率范围为1×105 Ω·cm~1×1012 Ω·cm 的半绝缘碳化硅单晶片。

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