KS I ISO 14644-5-2020
洁净室和相关控制环境 - 第5部分:操作

Cleanrooms and associated controlled environments —Part 5: Operations

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标准号

KS I ISO 14644-5-2020

发布日期

2020年12月30日

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

13.040.35

发布单位

KR-KS