IEC 62276:2016
用于表面声波(锯)的单晶硅片器件应用 - 规格和测量方法

Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications - Specifications and measuring methods


标准号
IEC 62276:2016
发布
2016年
发布单位
国际电工委员会
当前最新
IEC 62276:2016
 
 
适用范围
本文件适用于合成石英@铌酸锂(LN)@钽酸锂(LT)@四硼酸锂(LBO)@和硅酸镧镓(LGS)单晶晶片的制造,这些单晶晶片用作表面声波制造中的基材(SAW) 滤波器和谐振器。

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