ISO 21466:2019
微束分析.扫描电子显微镜.用CD-SEM评定临界尺寸的方法
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
- 标准号
- ISO 21466:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 21466:2019
- 适用范围
- 本文件规定了具有相关参数、文件格式和拟合程序的结构模型，用于通过基于模型的库（MBL）使用临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）成像来表征晶圆和光掩模的临界尺寸（CD）值方法。 该方法适用于样品的线宽测定，例如晶圆上的栅极、光掩模、尺寸小至 10 nm 的单个孤立或密集线特征图案。
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其中，临界分辨本领与放大倍数有关，因人眼的分辨本领约为0.2 mm, 放大后，要使人感觉物像清晰，必须使电子束的分辨率高于临界分辨率d0 ：电子束的入射角可通过改变光阑尺寸和工作距离来调整，用小尺寸的光阑和大的工作距离可获得小的入射电子角。 衬 度 包括：表面形貌衬度和原子序数衬度。表面形貌衬度由试样表面的不平整性引起。...
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