IEC 62047-32:2019
半导体器件微机电器件第32部分:MEMS谐振器非线性振动的试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 32: Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators
- 标准号
- IEC 62047-32:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-32:2019
- 适用范围
- IEC 62047的本部分规定了MEMS谐振器非线性振动的测试方法和测试条件。本文件中的陈述适用于 MEMS 谐振器的开发和制造。
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