GB/T 33523.603-2022
产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性

Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture: Areal—Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments

GBT33523.603-2022, GB33523.603-2022


标准号
GB/T 33523.603-2022
别名
GBT33523.603-2022, GB33523.603-2022
发布
2022年
采用标准
ISO 25178-603:2013 IDT
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 33523.603-2022
 
 
适用范围
本文件规定了相移干涉法(PSI)轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。

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