ISO 21360:2007
真空技术.测量真空泵性能的标准方法.一般描述

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适用范围: 本国际标准是一项基本标准，定义了三种不同的体积流量测量方法以及真空泵的基础压力、压缩比和临界前级压力各一种测量方法。第一种测量体积流量的方法（吞吐量法）是基本概念，其中将稳定的气流注入泵中，同时测量入口压力。在实践中，气体吞吐量的测量可能很复杂或不精确。因此，描述了另外两种避免直接测量吞吐量的方法。当入口压力非常小时（在高真空和超高真空中）出现非常小的吞吐量时，使用第二种测量体积流量的方法（孔板法）。它基于测量双室测试圆顶中的压力比，其中两个室由带有圆形孔口的壁隔开。第三种测量体积流量的方法（抽气法）非常适合自动测量。它基于大型船只的疏散。体积流量是根据泵送间隔之前和之后的两个压力以及测试圆顶的体积来计算的。不同的影响，如泄漏率和解吸率、抽气间隔期间近等熵膨胀导致的气体冷却以及低压下分子流引起的测试圆顶和泵之间的连接管路中的流动阻力增加，都会影响压力测量的结果和产生的体积流量。所需测量方法的选择取决于特定类型真空泵的特性，例如，只有需要前级泵的真空泵才需要测量临界前级压力。所有在真空泵上测量但未在本国际标准中描述的数据（例如功耗测量）均在特定泵标准中定义。

ISO 21360:2007真空技术.测量真空泵性能的标准方法.一般描述