GB/T 1554-1995
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

GBT1554-1995, GB1554-1995

被代替

标准号

GB/T 1554-1995

别名

GBT1554-1995, GB1554-1995

发布

1995年

发布单位

国家质检总局

替代标准

GB/T 1554-2009

当前最新

GB/T 1554-2009

 

 

适用范围

本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。 本标准适用于晶向为<111>或<100>、电阻率为10^-3～10⁴Ω·cm、位错密度在0～10⁵cm^-2之间的硅单晶锭或硅片中原生缺陷的检验。

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