GB/T 4058-1995
硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法已作废

Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers

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标准号

GB/T 4058-1995

发布日期

1995年04月18日

实施日期

1995年12月01日

废止日期

2010-06-01

中国标准分类号

H26

国际标准分类号

77.040.30

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 4058-2009

适用范围

本标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。 本标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。

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