GB/T 4058-1995
硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
GBT4058-1995, GB4058-1995
2010-06
- 标准号
- GB/T 4058-1995
- 别名
- GBT4058-1995, GB4058-1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 4058-2009
- 当前最新
- GB/T 4058-2009
- 适用范围
- 本标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。 本标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。