GB/T 6624-1995
硅抛光片表面质量目测检验方法
Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
GBT6624-1995, GB6624-1995
2010-06
- 标准号
- GB/T 6624-1995
- 别名
- GBT6624-1995, GB6624-1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 6624-2009
- 当前最新
- GB/T 6624-2009
- 适用范围
- 本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验硅单晶单面抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。