GB/T 6618-1995
硅片厚度和总厚度变化测试方法

Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices


标准号
GB/T 6618-1995
发布日期
1995-04-18
实施日期
1995-12-01
废止日期
2010-06-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.040.30
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 6618-2009
适用范围
本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片(简称硅片)厚度和总厚度变化的分立点式和扫描式测量方法。

谁引用了GB/T 6618-1995 更多引用





Copyright ©2007-2016 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号