GB/T 6619-1995
硅片弯曲度测试方法
Test methods for bow of silicon slices
GBT6619-1995, GB6619-1995
2010-06
- 标准号
- GB/T 6619-1995
- 别名
- GBT6619-1995, GB6619-1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 6619-2009
- 当前最新
- GB/T 6619-2009
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片（以下简称硅片）弯曲度的接触式测量方法。 本标准适用于测量直径大于50mm，厚度为200～1000μm的圆形硅片的弯曲度。本标准也适用于测量其他半导体圆片弯曲度。