GB/T 6621-1995
硅抛光片表面平整度测试方法
Test methods for surface flatness of silicon polished slices
GBT6621-1995, GB6621-1995
2010-06
- 标准号
- GB/T 6621-1995
- 别名
- GBT6621-1995, GB6621-1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 6621-2009
- 当前最新
- GB/T 6621-2009
- 适用范围
- 本标准规定了用相干光的干涉现象测量硅抛光片表面平整度的方法。 本标准适用于检测硅拋光片的表面平整度，也适用于检测硅外延片和类镜面状半导体晶片的表面平整度。