GB/T 15873-1995
半导体设施接口技术文件编写导则

Directives for drafting semiconductor facilities interface specification


 

 

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标准号
GB/T 15873-1995
发布日期
1995年12月22日
实施日期
1996年08月01日
废止日期
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31.220.10
发布单位
国家质检总局
适用范围
本标准规定了半导体设施接口技术文件(以下简称接口文件)编写的基本要求和格式。 本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。

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