GB/T 1555-1997
半导体单晶晶向测定方法
Test methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal
GBT1555-1997, GB1555-1997
2010-06
- 标准号
- GB/T 1555-1997
- 别名
- GBT1555-1997, GB1555-1997
- 发布
- 1997年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 1555-2009
- 当前最新
- GB/T 1555-2023
- 适用范围
- 本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。 本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的晶体的表面取向。 本标准包括两种试验方法： 方法A X射线衍射定向法。该方法可用于所有半导体单晶的定向。 方法B 光图定向法。该方法目前用于单一元素半导体单晶的定向。