DIN 50441-2:1998
半导体工艺材料的试验.半导体芯片几何尺寸的测量.第2部分:棱角剖面的试验

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 2: Testing of edge profile


 

 

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标准号
DIN 50441-2:1998
发布
1998年
发布单位
德国标准化学会
当前最新
DIN 50441-2:1998
 
 
适用范围
该文件规定了确定半导体晶圆边缘轮廓的四种测试方法。 三种方法基于光学投影,第四种方法规定通过测量显微镜测定轮廓长度。

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