ISO 14237:2000
表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

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标准号

ISO 14237:2000

发布

2000年

中文版

GB/T 20176-2006 (等同采用的中文版本)

发布单位

国际标准化组织

替代标准

ISO 14237:2010

当前最新

ISO 14237:2010

 

 

适用范围

本国际标准规定了采用均匀掺杂材料测定单晶硅中硼原子浓度的二次离子质谱方法，该方法由经认证的硼注入参考材料校准。 该方法适用于浓度范围为1 × 10 原子/cm 至1 × 10 原子/cm 的均匀掺杂硼。

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