JIS B9924-1990
表面粒子计数器

Surface particle counters


 

 

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标准号
JIS B9924-1990
发布日期
1990年03月01日
实施日期
废止日期
中国标准分类号
A28
国际标准分类号
19.120
发布单位
JP-JISC
适用范围
この規格は,鏡面状平面基板(以下,ウエーハという。)上に付着した粒子状汚染物質(以下,粒子という。)の粒径及び個数を光学的に測定する表面付着粒子計数器(以下,計数器という。)について規定する。




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