GB/T 12965-2005
硅单晶切割片和研磨片

Monocrystalline silicon cut slices and lapped slice

GBT12965-2005, GB12965-2005

2019-06

标准号
GB/T 12965-2005
别名
GBT12965-2005, GB12965-2005
发布
2005年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 12965-2018
当前最新
GB/T 12965-2018
 
 
引用标准
GB/T 1550 GB/T 1552 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 2828.1
被代替标准
GB/T 12965-1996
适用范围
本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的产品分类、术语、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等半导体器件,或进一步加工成抛光片。

GB/T 12965-2005相似标准


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