GB/T 19921-2005
硅抛光片表面颗粒测试方法
Test method of particles on silicon wafer surfaces
GBT19921-2005, GB19921-2005
2019-07
- 标准号
- GB/T 19921-2005
- 别名
- GBT19921-2005, GB19921-2005
- 发布
- 2005年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 19921-2018
- 当前最新
- GB/T 19921-2018
- 引用标准
- ASTM F1620-96 ASTM F1621-96 SEMI M1-0302
- 适用范围
- 本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。 本标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片（如化合物抛光片）。 本标准也可适用于观测硅抛光片表面的划痕、橘皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。 注：本标准涉及的方法通常选用波长(48~6 33)nm的激光光源，最常用的是488nm的氩离子激光器；目前可测量的最小值颗粒直径为0.06μm或更小些。