JB/T 10553-2006
真空技术.扩散硅压阻真空计

Vacuum technology.Plezoresistive silicon chip vacuum gauge

JBT10553-2006, JB10553-2006


标准号
JB/T 10553-2006
别名
JBT10553-2006, JB10553-2006
发布
2006年
发布单位
行业标准-机械
当前最新
JB/T 10553-2006
 
 
引用标准
GB/T 191 GB/T 2829 GB/T 3369 GB/T 3370 GB/T 4982
适用范围
本标准规定了扩散硅压阻真空计(简称真空计)的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。 本标准适用于测量压力为(100~1×105)Pa的扩散硅压阻真空计。

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