ISO 22309:2006
微电子束分析.用能量散射光谱仪(EDS)进行定量分析
Microbeam analysis - Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS)
- 标准号
- ISO 22309:2006
- 发布
- 2006年
- 中文版
- GB/T 17359-2012 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 22309:2011
- 当前最新
- ISO 22309:2011
- 引用标准
- ISO 14594 ISO 15632:2002 ISO 16700:2004 ISO/IEC 17025:2005
- 适用范围
- 本国际标准为使用安装在扫描电子显微镜（SEM）或电子探针微量分析仪（EPMA）上的能量色散光谱（EDS）对样品的特定点或区域进行定量分析提供了指导；任何量的表达，即以百分比（质量分数）表示，如大/小或主要/次要量都被认为是定量的。 正确识别样品中存在的所有元素是定量分析的必要部分，因此在本国际标准中得到考虑。 本国际标准提供了各种方法的指导，适用于使用参考材料或“无标”程序对质量分数低至 1% 的常规定量分析。 它可以放心地用于原子序数 Z > 10 的元素。 还给出了 Z < 11 的轻元素分析指南。 注意：当没有峰值重叠并且相关特征线被强烈激发时，可以测量低至 0.1% 的质量分数。 本国际标准主要适用于平坦抛光样品表面的定量分析。 基本程序也适用于没有抛光表面的样本的分析，但会引入额外的不确定性成分。 对于轻元素的精确定量 EDS 分析，目前还没有公认的方法。 然而，确实存在多种 EDS 方法。 这些是以下。 a) 以与较重元素相同的方式测量峰面积并比较强度。 由于附录 D 中解释的原因，轻元素结果的不确定性和不准确性将大于重元素结果。 b) 当已知样品中的轻元素与较重元素（Z > 10）按化学计量结合时，其浓度可以通过将其他元素的适当浓度比例相加来确定。 这通常用于分析硅酸盐矿物样本中的氧。 c) 通过差值计算浓度，其中轻元素百分比为 100% 减去分析元素的百分比总和。 这种方法只有在良好的束流稳定性和至少一个参考样品的单独测量的情况下才可能实现，并且需要对样品中的其他元素进行非常准确的分析。 附录 D 总结了轻元素分析的问题，以及重元素定量分析中存在的问题。 如果 EDS 和波长光谱 (WDS) 都可用，则 WDS 可用于克服 EDS 在低能量下出现的峰重叠问题。 然而，这两种技术都存在许多共同的其他问题。
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