GB/T 11068-2006
砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
Gallium arsenide epitaxial layer.Determination of carrier concentration voltage-capacitance method
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- 标准号
- GB/T 11068-2006
- 发布日期
- 2006年07月18日
- 实施日期
- 2006年11月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 发布单位
- CN-GB
- 被代替标准
- GB/T 11068-1989
- 适用范围
- 本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法，适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围：1×1014cm-3～5×1017cm-3。