GB/T 11068-2006
砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

Gallium arsenide epitaxial layer.Determination of carrier concentration voltage-capacitance method

GBT11068-2006, GB11068-2006


标准号
GB/T 11068-2006
别名
GBT11068-2006, GB11068-2006
发布
2006年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 11068-2006
 
 
被代替标准
GB/T 11068-1989
适用范围
本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法,适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围:1×1014cm-3~5×1017cm-3

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