GB/T 11068-2006
砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

Gallium arsenide epitaxial layer.Determination of carrier concentration voltage-capacitance method


标准号
GB/T 11068-2006
发布日期
2006-07-18
实施日期
2006-11-01
废止日期
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040.01
发布单位
CN-GB
被代替标准
GB/T 11068-1989
适用范围
本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法,适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围:1×1014cm-3~5×1017cm-3

GB/T 11068-2006 中可能用到的仪器设备





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