DIN 50451-4:2007
半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.用电感耦合等离子体质谱测定法测定纯净水中34中微量元素

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)

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标准号

DIN 50451-4:2007

发布

2007年

发布单位

德国标准化学会

当前最新

DIN 50451-4:2007

 

 

引用标准

DIN 32645 DIN 51401-1 DIN EN ISO 14644-1 DIN EN ISO 8655-2

被代替标准

DIN 50451-4:2005

适用范围

This Standard specifies a test method for the determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS). The method is applicable to mass fractions of elements from 10 ng/kg to 1000 ng/kg.

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