GB/T 4060-2007
硅多晶真空区熔基硼检验方法
Polycrystalline silicon.Examination method.Vacuum zone-melting on boron
GBT4060-2007, GB4060-2007
2019-06
- 标准号
- GB/T 4060-2007
- 别名
- GBT4060-2007, GB4060-2007
- 发布
- 2007年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 4060-2018
- 当前最新
- GB/T 4060-2018
- 引用标准
- GB/T 13389 GB/T 14264 GB/T 1551 GB/T 1554 GB/T 1555
- 被代替标准
- GB/T 4060-1983
- 适用范围
- 本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围：0．002×10
～100×10 。