GB/T 11073-2007
硅片径向电阻率变化的测量方法
Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
- 标准号
- GB/T 11073-2007
- 发布日期
- 2007年09月11日
- 实施日期
- 2008年02月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 1552 GB/T 2828 GB/T 6618-1995 GB/T 12965
- 被代替标准
- GB/T 11073-1989
- 适用范围
- 本标准规定了用直排四探针法测量硅单晶片径向电阻率变化的方法。 本标准适用于厚度小于探针平均间距、直径大于15 mm、电阻率为1X10¯³Ω·cm～3×10³ Ω·cm硅单晶圆片径向电阻率变化的测量。