GB/T 11073-2007
硅片径向电阻率变化的测量方法

Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

GBT11073-2007, GB11073-2007


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GB/T 11073-2007

标准号
GB/T 11073-2007
别名
GBT11073-2007
GB11073-2007
发布
2007年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 11073-2007
 
 
引用标准
GB/T 12965 GB/T 1552 GB/T 2828 GB/T 6618-1995
被代替标准
GB/T 11073-1989
本标准规定了用直排四探针法测量硅单晶片径向电阻率变化的方法。 本标准适用于厚度小于探针平均间距、直径大于15 mm、电阻率为1X10¯³Ω·cm~3×10³ Ω·cm硅单晶圆片径向电阻率变化的测量。

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